2024年11月17日,2024求是緣半導(dǎo)體聯(lián)盟產(chǎn)業(yè)峰會暨年會-制造供應(yīng)鏈與第三代半導(dǎo)體技術(shù)分論壇在蘇州福朋喜來登酒店隆重舉辦。
求是緣半導(dǎo)體聯(lián)盟理事、浙江大學(xué)材料科學(xué)與工程學(xué)院、杭州國際科創(chuàng)中心雙聘教授張輝主持本場論壇。
魅杰光電科技(上海)有限公司銷售副總林哲,發(fā)表了題為《碳化硅功率半導(dǎo)體的挑戰(zhàn)與機(jī)遇》的演講。
林哲強(qiáng)調(diào),從2021年到2027年,功率器件市場預(yù)計(jì)將以年復(fù)合增長率11%的速度增長,其中碳化硅的增長率高達(dá)15%。同時,提升產(chǎn)品良率對企業(yè)增長具有極大的重要性,特別是在電動汽車領(lǐng)域。
魅杰光電作為半導(dǎo)體檢測設(shè)備商,致力于提升產(chǎn)品良率,助力行業(yè)發(fā)展。公司自2015年成立以來,在無圖缺陷檢測設(shè)備等關(guān)鍵設(shè)備上取得突破,受到多家資本方支持,擁有眾多專利,以及高新企業(yè)技術(shù)證書等榮譽(yù)。在技術(shù)路線與工藝制程方面,魅杰光電設(shè)備的適用制程,從0.35微米逐漸發(fā)展到現(xiàn)在的先進(jìn)節(jié)點(diǎn)。
山東大學(xué)研究員彭燕,發(fā)表了題為《金剛石材料的研究進(jìn)展》的演講。
彭燕表示,山東大學(xué)晶體材料國家重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室自1958年開展晶體材料研究工作,多年來致力于半導(dǎo)體材料的研發(fā),從二代納米材料到超寬禁帶材料如氧化鎵等均有涉足。特別是在碳化硅領(lǐng)域,實(shí)驗(yàn)室自2000年左右開始研發(fā),已取得顯著成果,并成功應(yīng)用于電動汽車等領(lǐng)域。
此外,實(shí)驗(yàn)室還積極探索金剛石這一“終極半導(dǎo)體材料”的應(yīng)用潛力,通過不同方法如高溫高壓法和微波等離子體化學(xué)氣相沉積法(MPCVD)進(jìn)行金剛石材料的制備,并在尺寸、質(zhì)量和摻雜控制等方面取得重要進(jìn)展。
金剛石因其優(yōu)異的耐壓、耐溫和散熱性能,在半導(dǎo)體器件、高功率器件及散熱材料等方面具有廣闊的應(yīng)用前景。目前,山東大學(xué)已在金剛石的生長、加工、器件制備及應(yīng)用等方面開展了深入研究,并取得了一系列創(chuàng)新成果。未來,實(shí)驗(yàn)室將繼續(xù)聚焦新型半導(dǎo)體材料的研發(fā)與應(yīng)用,為推動我國半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)的持續(xù)發(fā)展貢獻(xiàn)力量。
浙江大學(xué)特聘研究員王珩宇,發(fā)表了題為《碳化硅超級結(jié)系列器件技術(shù)》的演講。
王珩宇指出,在雙碳背景下,全球碳排放量持續(xù)增長,迫切需要綠色科技和高效變換裝置來降低碳排放。超級節(jié)技術(shù)可以使電阻分布更加均勻,提高器件的耐壓能力和降低工藝損耗。盡管該技術(shù)在理論上具有顯著優(yōu)勢,但在實(shí)際應(yīng)用中仍面臨許多挑戰(zhàn)。最后,王珩宇表示,希望通過進(jìn)一步的研究和創(chuàng)新,能夠推動技術(shù)在實(shí)際器件中的廣泛應(yīng)用,為綠色科技和半導(dǎo)體行業(yè)的發(fā)展做出貢獻(xiàn)。
華中科技大學(xué)研究員梁琳,發(fā)表了題為《壓控型功率半導(dǎo)體器件狀態(tài)感知研究進(jìn)展》的演講。
她講到,目前華中科技大學(xué)電氣學(xué)院擁有兩個國家級重點(diǎn)實(shí)驗(yàn)室,其中功率半導(dǎo)體器件是一個重要研究方向,主要聚焦于壓控型功率半導(dǎo)體器件的狀態(tài)感知問題,包括結(jié)溫感知和退化感知兩方面,其中“退化感知”是研究的重點(diǎn)。
在退化感知方面,梁琳介紹了芯片層面和封裝層面的退化感知方法,并詳細(xì)闡述了團(tuán)隊(duì)所做的研究工作。她提到,團(tuán)隊(duì)通過仿真和實(shí)驗(yàn)驗(yàn)證了一種基于雙參數(shù)的監(jiān)測方法,該方法能夠同時監(jiān)測結(jié)溫和老化狀態(tài),具有較高的準(zhǔn)確性和可靠性。這些研究工作對于提高功率半導(dǎo)體器件的可靠性和長期運(yùn)行穩(wěn)定具有重要意義。
杭州飛仕得科技股份有限公司設(shè)備事業(yè)部首席技術(shù)官劉偉,發(fā)表了題為《創(chuàng)新測試技術(shù)助力功率器件產(chǎn)業(yè)高質(zhì)量發(fā)展》的演講。
劉偉表示,當(dāng)前,數(shù)據(jù)中心、AI數(shù)據(jù)處理以及電動汽車發(fā)展對碳化硅器件市場起到極大的推動作用。預(yù)計(jì)到2040年,兩大產(chǎn)業(yè)方向?qū)⑾募s4000TWh的能量,占發(fā)電和用電總量的25%左右。碳化硅材料因具有高電場強(qiáng)度和高熱導(dǎo)率,成為高效用能領(lǐng)域的關(guān)鍵材料,但其應(yīng)用仍面臨諸多挑戰(zhàn),如材料本身的缺陷、測試與篩選技術(shù)的瓶頸等。
飛仕得公司針對這些挑戰(zhàn),提出了從晶圓級到應(yīng)用級的全面測試與篩選解決方案,包括晶圓級的同步多探針下壓測試、多維度篩選算法、動態(tài)及靜態(tài)雙脈沖實(shí)驗(yàn)等。同時,公司在碳化硅器件測試裝備研發(fā)方面取得多項(xiàng)成果,包括針對車規(guī)級、光伏和儲能等領(lǐng)域的應(yīng)用解決方案。
短暫休息后,求是緣半導(dǎo)體聯(lián)盟副秘書長、集成電路材料創(chuàng)新聯(lián)合體秘書長馮黎主持了以“新應(yīng)用新工藝推動制造供應(yīng)鏈創(chuàng)新發(fā)展”為主題的圓桌論壇,邀請了:
彭燕,山東大學(xué)研究員
任佳,上海新微科技發(fā)展有限公司董事長兼總經(jīng)理
吳慧明,浙江泓芯新材料股份有限公司董事長兼總經(jīng)理
張志軍,迅勢科技(蘇州)有限公司創(chuàng)始人
嘉賓們基于自身經(jīng)驗(yàn),對人工智能推動應(yīng)用發(fā)展、產(chǎn)教融合及人才培養(yǎng)、設(shè)備技術(shù)創(chuàng)新與國產(chǎn)化等話題進(jìn)行深入討論。
當(dāng)前,人工智能正在加速多個應(yīng)用領(lǐng)域的發(fā)展,2030年前后人工智能將極大推動集成電路和高科技領(lǐng)域的發(fā)展,AI識別材料細(xì)節(jié)面積達(dá)到96%的精確度,為材料研究提供了巨大的便利,自動化和人工智能工具正在被工業(yè)界積極引入,以優(yōu)化生產(chǎn)流程和提高產(chǎn)品質(zhì)量。
同時,高校在培養(yǎng)交叉學(xué)科、跨界創(chuàng)新人才方面具有極大的重要性,以滿足企業(yè)對復(fù)合型人才的需求,未來需要進(jìn)一步加強(qiáng)企業(yè)在產(chǎn)教融合中的角色,推動科研成果的商業(yè)化,從0到1的科技創(chuàng)新需要進(jìn)行概念驗(yàn)證,這個過程需要設(shè)備和產(chǎn)業(yè)的互動,同時也需要學(xué)??蒲袡C(jī)構(gòu)的支持。而設(shè)備技術(shù)創(chuàng)新是推動產(chǎn)業(yè)發(fā)展的關(guān)鍵,特別是在材料科學(xué)和工藝制造領(lǐng)域。國產(chǎn)化之路不僅僅是國產(chǎn)替代,更是深度國產(chǎn)化,包括設(shè)備技術(shù)的全面自主化。
現(xiàn)場聯(lián)盟會員為嘉賓們精彩紛呈的觀點(diǎn)和實(shí)事求是的分析報以熱烈掌聲,論壇在意猶未盡的熱切討論中落下帷幕。
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